Metiltriklorosilane Ketulenan Tinggi

Methyltrichlorosilane Ketulenan Tinggi (CH₃SiCl₃, CAS 75-79-6) ialah cecair tidak berwarna, berwasap yang bertindak balas dengan kuat dengan lembapan, membebaskan hidrogen klorida. Mendidih pada 66.1–66.4 darjah , ia bebas larut dalam pelarut organik kontang. Sebagai perantara utama dalam industri organosilicon, MTS ketulenan tinggi{13}}digunakan secara meluas untuk menghasilkan resin metil silikon, agen gandingan silane (cth, metiltrimethoxysilane), prekursor CVD untuk filem nipis semikonduktor dan SiC serta pemendapan pelapisan SiO₂ dalam prabentuk gentian optik. Tersedia dalam gred industri ( Lebih daripada atau sama dengan 99.0%) dan gred ketulenan tinggi ( Lebih daripada atau sama dengan 99.9%). Dikelaskan sebagai reaktif air dan menghakis (UN 2985, Kelas 4.3+8, PG II); mesti dikendalikan di bawah perlindungan nitrogen kering, diasingkan dengan ketat daripada air, alkohol dan bes.