Trichlorosilane

Trichlorosilane (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) ialah cecair tidak berwarna, sangat meruap dengan bau hidrogen klorida yang tajam dan mencekik. Mendidih pada 31.8 darjah dan bertindak balas dengan kuat dengan lembapan, ia merupakan bahan suapan utama untuk proses Siemens untuk menghasilkan-polisilikon ketulenan tinggi untuk sel solar fotovoltaik dan wafer semikonduktor. TCS juga digunakan secara meluas dalam pertumbuhan wafer epitaxial silikon, sintesis organosilikon (minyak silikon, getah, resin, agen gandingan), pemendapan filem nipis silikon CVD, dan sebagai agen pengurangan terpilih dalam sintesis organik. Tersedia dalam gred industri ( Lebih besar daripada atau sama dengan 99.0%) dan gred elektronik (sehingga ketulenan 9N). Dikelaskan sebagai reaktif air dan sangat mudah terbakar (UN 1295, Kelas 4.3+2.3, PG I) dengan julat letupan yang sangat luas 1.2%–90.5%; mengendalikan hanya dalam keadaan kontang yang ketat dengan perlindungan nitrogen kering.